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    分子束外延束源炉

    • 硅升华束源炉-SUSI
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    硅升华束源炉-SUSI

    • 产品型号:SUSI
    • 产品描述:硅升华束源炉-SUSI是专门用于生长超薄Si薄膜,Si的III-V族掺杂,GaAs掺杂,超纯硅灯丝,全硅设计,束流的控制精度可达到0.1A/s。
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    硅升华束源炉-SUSI是专门用于生长超薄Si薄膜,Si的III-V族掺杂,GaAs掺杂,超纯硅灯丝,全硅设计。束流的控制精度可达到0.1A/s。


    产品特点:

    专门用于生长Si薄膜;

    III-V族和GaAs应用中的Si掺杂;

    高纯材料设计;

    水冷设计的电学接触;

    全硅材料设计束源炉;



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