紧凑型MBE系统-OCTOPLUS 300
标准MBE系统-OCTOPLUS 400
氧化物MBE系统-OCTOPLUS-O 400
标准MBE系统-OCTOPLUS 500
电子束蒸发MBE系统-OCTOPLUS 500 EBV
标准束源炉-WEZ
高温束源炉-HTEZ
高温束源炉-HTS
硅升华束源炉-SUSI
量产型大容量束源炉-PEZ
耐氧化束源炉-OREZ
P掺杂束源炉-DECO-D
掺杂用束源炉-DEZ
热气注入源-TGI
氧原子源-OBS
氢原子源-HABS
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